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DB550
DB500聚焦离子束电子束双束显微镜

DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具,低电压高分辨的电子镜筒,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器,一体化设计的控制软件,为您打造全能纳米分析和加工中心。

  • 品牌: 国仪量子
  • 型号:DB550
  • 产源地:中国
  • 参考价格:
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产品描述

技术参数

电子束系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪
分辨率 1.2 nm@15 kV
加速电压 20 V ~ 30 kV
离子束系统 离子源类型 液态镓离子源
分辨率 3 nm@30 kV
加速电压 500 V ~ 30 kV
样品室 真空系统 全自动控制,无油真空系统
摄像头 三摄像头
(光学导航+样品仓内监控x2)
样品台类型 五轴机械优中心样品台
样品台行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探测器和扩展 标配 镜筒内电子探测器
旁侧二次电子探测器(ETD)
选配 插入式背散射电子探测器(BSED)
插入式扫描透射探测器(STEM)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
纳米机械手
气体注入器
等离子清洗
样品交换仓
轨迹球&旋钮控制板
软件 语言 中文
操作系统 Windows
导航 光学导航、手势快捷导航
自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散