DB500聚焦离子束电子束双束显微镜
DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具,低电压高分辨的电子镜筒,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器,一体化设计的控制软件,为您打造全能纳米分析和加工中心。
- 品牌: 国仪量子
- 型号:DB550
- 产源地:中国
- 参考价格:
一键分享:
产品描述
技术参数
电子束系统 | 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
分辨率 | 1.2 nm@15 kV | |
加速电压 | 20 V ~ 30 kV | |
离子束系统 | 离子源类型 | 液态镓离子源 |
分辨率 | 3 nm@30 kV | |
加速电压 | 500 V ~ 30 kV | |
样品室 | 真空系统 | 全自动控制,无油真空系统 |
摄像头 | 三摄像头 | |
(光学导航+样品仓内监控x2) | ||
样品台类型 | 五轴机械优中心样品台 | |
样品台行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内电子探测器 |
旁侧二次电子探测器(ETD) | ||
选配 | 插入式背散射电子探测器(BSED) | |
插入式扫描透射探测器(STEM) | ||
能谱仪(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
纳米机械手 | ||
气体注入器 | ||
等离子清洗 | ||
样品交换仓 | ||
轨迹球&旋钮控制板 | ||
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |