SEM3300钨灯丝扫描电镜
SEM3300 是全新一代钨灯丝扫描电镜,将高压隧道技术(Super-Tunnel)、镜筒内电子探测器、静电电磁复合物镜等技术,应用在钨灯丝电镜上,突破了钨灯丝的分辨率极限,让钨灯丝电镜也能完成一部分场发射电镜才能完成的低电压分析任务。
- 品牌: 国仪量子
- 型号:SEM3300
- 产源地:中国
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产品描述
电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪 |
分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV | |
4 nm @ 3 kV | ||
5 nm @ 1 kV | ||
放大倍率 | 1 x~300,000 x | |
加速电压 | 0.1 kV~30 kV | |
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD)、镜筒内高角度电子探测器 |
*背散射电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |
真空系统 | 真空模式 | 优于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自动控制 | |
涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |
机械泵 | 12 m³/h(50 Hz) | |
样品室 | 摄像头 | 光学导航 |
样品仓内监控 | ||
样品台配置 | 五轴自动 | |
软件 | 语言 | 中文 |
操作系统 | Windows | |
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | |
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |